电弧蒸发是物理气相沉积的一种方式

此工艺是将被蒸发的固体金属（靶材）置于真空腔室内，产生辉光放电后，在靶材表面运行，靶材在很小的几个微米大小内蒸发，电弧的运动是由磁场所控制的，蒸发出的金属离子形成的等离子体将沉积于工件表面，这些工件是在真空腔内旋转运动，电弧制备的涂层通常被用于工具和零部件的表面涂层，电弧工艺中实现蒸发材料的高度电离，沉积涂层具有优异的附着力。

电弧技术的优点：

高沉积速率(~1-3 µm/h)
高离化率，形成结合力好，致密的涂层
靶材冷却，涂层工件受热较少，这样可以在低于100°C以下沉积
可以蒸发多种成分的金属，剩余固态靶材成分不变
阴极可以放置在任何位置（水平、垂直、上部和下部），设备设计灵活